應用于新能源領域陶瓷基板蝕刻前的干膜及濕膜檢測+修補+烘烤的全自動化設備。
產品詳情
半導體、汽車電子、航天航空及軍用電子組件太陽能電池板組件等多項工業電子領域。
1. 檢測、修補、烘烤一體，自動化程度高；
2. 雙通道設計，效率高；
3. 可針對不同型號產品添加模板，產品配方綁定；
4. 邊緣位置大于1.2mm均可實現自動修補，修補精度高。
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序號 |
項目 |
參數 |
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1 |
設備型號 |
DE -ATD |
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2 |
尺寸 |
9600（L)*1620(W)*2000(H)(±10%) |
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3 |
重量 |
4200KG |
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4 |
設備節拍 |
9.7秒/片（每面最多可修補10個點，產品翹曲度≤2mm） |
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5 |
氣壓 |
0.5-0.8MPa |
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6 |
電壓 |
380V |
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7 |
功率 |
約27KW |
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8 |
修補精度 |
產品邊緣位置大于1.2mm可以實現自動修補 |
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9 |
定位精度 |
±0.1mm |
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10 |
檢測內容 |
可識別干膜漏銅、干膜殘留、干膜空洞等，并對干膜漏銅、干膜孔洞進行修補 |
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